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»ý±â¿ø Èñ¼Ò±Ý¼Ó¼¾ÅÍ´Â Èñ¼Ò±Ý¼Ó Æ¯È °øÁ¤Àåºñ 35Á¾°ú Ư¼ö ºÐ¼®Àåºñ 55Á¾À» °®°í ÀÖ´Ù. ¿ø¼® µî ±¤¹°À̳ª ÀüÀÚÁ¦Ç° µîÀ» µé¿©¿Í ³ìÀÌ´Â ¿ëÇØºÎÅÍ Á¦·Ã, Á¤·Ã, °í¼øµµÈ, ÀçȰ¿ë µî¿¡ °ÉÃļ´Ù. À¯µµ°áÇÕÇö󽺸¶(ICP)·Î ½Ã·á¸¦ ÀÌ¿ÂÈÇÑ ¸ð¹ÙÀϾ߸¶Åä µÚ Àü¡¤ÀÚ±âÀå¿¡ Åõ°ú½ÃÄÑ ¿ø¼Ò¸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â ICP-MS Àåºñ, ½Ã·á¿¡ X¼±À» ½ò ¶§ ¹æÃâµÇ´Â Çü±¤¿¡³ÊÁö ºÐÆ÷ µ¥ÀÌÅÍ·Î ¿ø¼Ò¸¦ ºÐ¼®ÇÏ´Â XRP Àåºñ µîÀÌ´Ù.
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»ý±â¿ø Èñ¼Ò±Ý¼Ó¼¾ÅÍ´Â ±¹³»¿¡¼ óÀ½ źŻ·ý(Ta) Á¦·Ã ¹× Á¤·Ã°ú ºÐ¸» ó¸®, ÀÀ¿ë ¼ÒÀç±îÁö À̾îÁö´Â Àϰü°øÁ¤ ±â¼úÀ» °³¹ßÇß´Ù. ÇÙ½É Èñ¼Ò±Ý¼Ó 15Á¾ Áß ÇϳªÀΠźŻ·ýÀº ³ì´ÂÁ¡ÀÌ 3000µµ ÀÌ»ó, ²ú´ÂÁ¡ÀÌ 5500µµ¿¡ ´ÞÇÏ´Â ³À¶(Ññë×) ±Ý¼ÓÀÌ´Ù. ±¤¹°¿¡¼ ºÐ¸®ÇÏ´Â °Í ÀÚü°¡ ¹«Ã´ ¾î·Æ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡¼ Çö󽺸¶ ½Ä°¢(¿¡Äª)À̳ª Ãʰí¿Â ³»½Ä¼º´ÉÀÌ ÇÊ¿äÇÑ µðÆæ½ºÅ×Å©»ê¾÷ ºÎǰ ¼ÒÀç µîÀ¸·Î ¾²ÀδÙ. ±×°£ ¿ø·á¿Í Áß°£ ¼ÒÀç»Ó ¾Æ´Ï¶ó ÃÖÁ¾ Á¦Ç° Àü·®À» ÇØ¿Ü¿¡ ÀÇÁ¸ÇØ ¿Ô´Ù.
»ý±â¿ø Èñ¼Ò±Ý¼Ó¼¾ÅÍ´Â ÀüÀÚºö ¿ëÇØ µîÀ¸·Î ¼øµµ 99.999% źŻ·ý Á¦Á¶ ±â¼úÀ» °³¹ßÇØ ƯÇã(IP) 9°ÇÀ» ÃëµæÇß´Ù. ¿Ü±¹¿¡¼ µé¿©¿Â źŻ·ý »ó¿ë Á¦Ç°º¸´Ù °æµµ, ¿Àüµµµµ µî ÁÖ¿ä ¹°¼ºÀÌ ÁÁ¾Æ ¡®±â¼úÀÇ µ¶ÀÚ¼º¡¯À» ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù. źŻ·ý ³» ºÒ¼ø¹° ÇÔ·® ¿ª½Ã »ó¿ë Á¦Ç° 0.04%º¸´Ù ÇÑÂü ÀûÀº 0.003%¸¦ ´Þ¼ºÇß´Ù. ÀÌµé ±â¼úÀº Àü¿ë½Ç½Ã±Ç ÇüÅ·ΠÄÚ½º´Ú½ÃÀå »óÀå»ç ºñ¾¾¿£¾¾¿¡ ÀÌÀüµÆ´Ù. ºñ¾¾¿£¾¾´Â »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº, DBÇÏÀÌÅØ»Ó ¾Æ´Ï¶ó ´ë¸¸ TSMC, ÀϺ» ¼Ò´Ï¿Í Ű¿À½Ã¾Æ, ¹Ì±¹ ÀÎÅÚ°ú ÅØ»ç½ºÀνºÆ®·ç¸ÕÆ®, µ¶ÀÏ ÀÎÇǴϾð µî ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷À» °í°´»ç·Î µ×´Ù.
»ý±â¿ø °ü°èÀÚ´Â ¡°È®º¸ÇÑ ÅºÅ»·ý Àϰü°øÁ¤ ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ ½ºÆÛÅ͸µ Ÿ±ê, Ãʳ»¿¡¤³»¸¶¸ðºÎǰ µî ´Ù¾çÇÑ Ã·´Ü »ê¾÷ ºÐ¾ß¿¡¼ÀÇ È°¿ëÀÌ ±â´ëµÈ´Ù¡±¸ç ¡°Àå±âÀûÀ¸·Î ±¹³» Èñ¼Ò±Ý¼Ó °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤°ú ¼öÀÔ ÀÇÁ¸µµ Àú°¨¿¡ ±â¿©ÇÒ °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
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Èñ¼Ò±Ý¼Ó¼¾ÅͰ¡ ÃÖ±Ù °³¹ß ¿ª·®À» ¸ðÀ¸°í ÀÖ´Â ¿ø¼Ò´Â ³×¿Àµð¹Å(Nd), µð½ºÇÁ·Î½·(Dy) µî ÁßÈñÅä·ù´Ù. ÀϽÃÀû ÈÞÀü »óÅ·Πµé¾î°¬Áö¸¸ ¹Ì±¹°ú Áß±¹ÀÌ Áö³ 10¿ù ÈñÅä·ù °ø±Þ¸Á Á¦Àç ¿©ºÎ¸¦ µÎ°í °¡Àå ¿¹¹ÎÇÏ°Ô ¸ÂºÙÀº À̽´¶ó¼´Ù.
Àü±âÀÚµ¿Â÷¿¡ µé¾î°¡´Â ¿µ±¸ÀÚ¼®Àº ³×¿Àµð¹Å°ú ö, ºØ¼Ò¸¦ ¼¯¾î ¸¸µå´Âµ¥ Àü±âÂ÷ ¸ðÅÍÀÇ ³»¿ ¼º´ÉÀ» ²ø¾î¿Ã·Á ¾ÈÀü¼ºÀ» ´õ ³ôÀÌ·Á¸é µð½ºÇÁ·Î½·À» ³Ö¾î¾ß ÇÑ´Ù. »ó¿ë ¼öÁØÀÇ µð½ºÇÁ·Î½·À» »ý»êÇÏ´Â °÷Àº ¼¼°è¿¡¼ Áß±¹¹Û¿¡ ¾ø´Ù. ¹Ì±¹ Á¤ºÎ°¡ Àü·«ÀûÀ¸·Î ÁöºÐÀ» ¸ÅÀÔÇÑ ±â¾÷ MP¸ÓƼ¸®¾ó½º¿Í È£ÁÖÀÇ ´ëÇ¥ Èñ¼Ò±Ý¼Ó ±â¾÷ ¶óÀ̳ʽºµµ °®Áö ¸øÇÑ ±â¼úÀÌ´Ù. Æó¿µ±¸ÀÚ¼®À̳ª ÈñÅä·ù »êȹ° µî¿¡¼ ȸ¼öÇÏ´Â ¹æ¹ýÀÌ ÀÖ±ä ÇÏÁö¸¸ È¿À²ÀÌ ³·´Ù.
»ý±â¿ø °ü°èÀÚ´Â ¡°¸ðºô¸®Æ¼¿ë ÈñÅä·ùÀÎ ³×¿Àµð¹Å°ú µð½ºÇÁ·Î½·Àº °í¼øµµ ¿ø·á¸¦ È®º¸ÇØ °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¼ÒÀç·Î ¸¸µå´Â ±â¼úÀÌ ±¹³»¿¡ Àü¹«ÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°ÀÌ °°Àº ±â¼ú º´¸ñÀ» ÇØ¼ÒÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù. Àú¼øµµ ¿ø·á¸¦ ÇØ¿Ü¿¡¼ µé¿©¿Í ºÒ¼ø¹°À» Á¦°ÅÇØ Á¦Ç°À¸·Î ¸¸µå´Â Àü¹æ, ÈÄ¹æ ±â¼úÀº ÀÖÁö¸¸ ¡®Áß°£ ´Ü°è¡¯ ±â¼úÀÌ ÀüÇô ¾ø´Ù´Â ¼³¸íÀÌ´Ù. ¹ÝµµÃ¼¿ë Èñ¼Ò±Ý¼ÓÀÎ ÅÖ½ºÅÙ(W), ¸ô¸®ºêµ§(Mo), ƼŸ´½(Ti) µîÀ̳ª ¿¡³ÊÁö¿ë Èñ¼Ò±Ý¼ÓÀÎ ¸®Æ¬, ÄÚ¹ßÆ®, ´ÏÄÌ µîµµ »çÁ¤Àº ¸¶Âù°¡Áö´Ù.
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